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TCL一头扎进面板、半导体等高风险行业，成败目前难有定论
TCL华星:看好LTPS产业在未来几年内的发展
京东方斥资11亿元收购中电熊猫，成为国内液晶面板史上最大并购
总投资亿元！长沙三安第三代半导体项目厂区“心脏”封顶
台积电被施压：15%-30%业务搬离中国大陆
华为机器人凝视追踪技术，让机器更像人
IMEC：nm芯片可以用这种材料
TCL一头扎进面板、半导体等高风险行业，成败目前难有定论
从“TCL集团”到“TCL科技”：一场押注面板、半导体的豪赌。5G和AI等前沿技催生了未来万物智联的新时代，传统的家电企业将迎来新一轮的加速迭代。曾经的家电巨头TCL科技(SZ:)，近几年转型的步伐越来越快。
从年末开始，其资本运作的核心一直集中在剥离智能终端业务、保留以半导体显示技术及材料业务和产业金融等。
而从其今年月的更名也能看出公司转型的决心。自月7日起，TCL的名称就由“TCL集团”变更为“TCL科技”，英文简称由“TCLCORP.”变更为“TCLTECH.”，公司证券代码不变。
与其他家电巨头围绕“智慧家庭”构建生态相左，TCL科技却剥离了其传统优势业务，一头扎进面板、半导体等高风险行业。
年3月，重组完成后，TCL科技保留华星光电、产业金融业务和其他业务，剥离主营手机业务的子公司TCL通讯、主营电视业务的子公司TCL电子和相关业务。年，公司出售环保相关业务，00年3月，TCL科技完成了奥鹏业务的出售，持续聚焦于高科技、资本密集、长周期的战略新兴产业。3月初，TCL华星与三安半导体签下战略合作协议，宣布共同成立实验室，研发Micro-LED显示技术及其工程化制造的芯片、转移、检测、修复等关键技术；
随后，TCL华星又宣布拟向全球首家能够生产印刷式4KOLED面板的日本JOLED公司投资亿日元(约0亿人民币)，展开深度技术合作，押注印刷式OLED这条行业新赛道。
两个月之后，TCL资本宣布以4亿元收购武汉华星39.95%股权，加速武汉华星在高端智能手机和移动PC显示面板领域的自主技术研发；7月，TCL宣布收购中环集团%股权，正式打入半导体硅材料领域，业务架构在面板（TCL华星）、产业金融及投资两大板块之外，新增半导体材料板块；
8月，TCL华星收购了苏州三星电子液晶显示科技有限公司60%的股权及苏州三星显示有限公司%的股权，同时三星对TCL华星进行增资，增资后三星显示占TCL华星1.33%股权，成为第二大股东。交易完成后，TCL华星和三星将开展更加密切的战略合作，同时TCL华星在大尺寸液晶面板领域将拥有3条满产的8.5代线(每月产能合计K大板)、1条满产11代线（目前月产能90K）和1条在建的11代线，产能规模和市场份额双双增长。而TCL却另辟蹊径，剥离智能终端业务、保留以半导体显示技术及材料业务。
财报显示，TCL的主业表现在资产重组后并不理想。不管是营收还是净利，TCL科技的00年中数据表现都呈下降趋势。
数据显示，年末、年末，TCL科技的营收数据分别为.66亿元和.33亿元；归母净利润分别为34.68亿元和6.18亿元，也均呈下滑趋势；00年上半年，TCL科技的营业收入为93.33亿元，归母净利润为1.08亿元，相对于年中的.8亿元和0.9亿元，分别下降了33%和4.6%。
TCL华星:看好LTPS产业在未来几年内的发展
武汉华星股权收购案落地武汉产投成TCL科技第三大股东。
9月17日,TCL科技(.SZ)发布公告称,证监会已审核批准公司以发行股份、可转换公司债及支付现金方式收购武汉华星39.95%股权。
根据交易安排,TCL科技将从武汉光谷产业投资有限公司(下称“武汉产投”)手中收购其持有的武汉华星股份,并以发行股份、可转换公司债券及现金方式支付对价4.17亿元。交易完成后,TCL科技将直接和间接持有武汉华星股权超过85%,武汉产投则成为TCL科技的第三大股东。
武汉华星的t3产线目前是全球产能最大的LTPS单体工厂,TCL科技提高持股比例,长期看来有利于提高股东回报和加强对武汉华星全方位的经营支持,深化在半导体显示产品领域的发展规划。
作为我国首条第六代LTPS显示面板生产线,武汉华星t3项目总投资额达亿元,在经历产品点亮、产能爬坡等重要阶段后于年四季度实现满产满销。年初,t3产线通过技术改造和设备扩充,将设计产能由40K/月提升至50K/月,成为全球产能最大的LTPS单体工厂,市场份额稳居全球第二。
在产能充沛的情况下,该条产线的核心技术和工艺水准也位列行业领先水平。在完成首批产品出货后,该条产线在不到两年的时间里,陆续攻克了盲孔、异形切割、极窄边框等行业难题。目前,武汉华星t3产线以FinePixel(鹰眼)、IEST(智能节电)、CPLP(圆偏光)、低蓝光等自研技术,在中小尺寸LTPS面板领域中占据重要的重要的市场份额,其93%的产品良率在行业内处于顶尖水平。
在客户层面,武汉华星始终与三星、华为、小米、OPPO、vivo、联想等头部终端企业保持着紧密的合作关系,全球前六大手机品牌客户的出货量已占据该公司总出货量的80%。
尽管AMOLED面板的普及在一定程度上挤压了LTPS在高端移动设备领域的生存空间,但在移动PC、车载面板、平板电脑等领域,武汉华星的市场份额正在稳定提高,同时得益于t3产线在生产规模、核心技术、产品良率、高模组出货占比等优势,其盈利能力在近几年中稳定增长,在此前发布的收购预案中,TCL科技披露武汉华星年实现净利润6.13亿元,收购武汉华星股份对于持续提升工业能力,稳步提升集团盈利水平发挥着重要意义。
TCL科技表示,公司持股比例有所提升,长期看来有利于提升上市公司归属于母公司股东的净利润,提高股东回报,增强上市公司未来的持续经营能力,也有助于加强对武汉华星经营的各方面支持,深化在半导体显示产品领域的发展规划,进一步提升武汉华星的综合竞争力和盈利额能力。
其实,早在今年4月,TCL科技董事长李东生就已经宣布将要对武汉华星追加10亿元的投资,用于对t3产线实施技改,包括设备自动化升级改造、设备内部优化升级调整、厂房布局优化和扩建等,这也印证了TCL科技十分看好LTPS产业在未来几年内的发展,并决心将武汉华星t3项目打造成公司稳定的盈利增长点。
引入武汉产投,共拓高科技产业布局
本次收购的另一大亮点是,武汉产投将通过交易获得TCL科技万股,持股比例达3.64%,跃升为TCL科技第三大股东,这也引发了外界的众多遐想。
双方的结缘于年,伴随移动互联网时代的到来,TCL科技于当年宣布进军中小尺寸面板领域,在进行一系列的考察调研后,决定将与湖北科技投资集团有限公司、国家发展基金有限公司联合出资成立武汉华星光电技术有限公司,其中湖北科技投资集团有限公司投资持股39.95%。
年,湖北科投整合优质产业资产后,组建了全资子公司武汉光谷产业有限公司,湖北科投在华星光电的股份也随之转移至武汉产投旗下。
作为一家致力于促进产业创新发展的基金管理公司,武汉产投参与投资了包括长江控股、华星光电、武汉天马、蔚来能源、资环工研院、光电工研院、中金启元创投引导基金、长江小米产业基金、烽火光电子信息产业基金、联想长江产业基金在内多个高新技术产业项目。
此次武汉产投入股TCL科技,长期来看对TCL科技产业整合能力及未来业务拓展有着重要意义。
对于TCL科技而言,围绕产业进行整合与创新正是当下的战略发展方向。当前,TCL科技正致力于围绕半导体显示技术和材料,打造具有全球领先优势的半导体显示产业链,并择机在资金、技术密集的战略新兴产业开辟自己的新赛道,支撑企业长期持续成长。
京东方斥资11亿元收购中电熊猫，成为国内液晶面板史上最大并购
京东方发布公告称，拟斥资不低于55.91亿元收购南京中电熊猫平板显示科技有限公司（以下简称“南京G8.5公司”）80.%的股权，同时拟斥资不低于65.6亿元收购成都中电熊猫显示科技有限公司（以下简称“成都G8.6公司”）51%的股权。这或将成为国内液晶面板史上最大的并购案。
这意味南京中电熊猫8.5代线和成都中电熊猫8.6代线的并购案，终于水落石出，京东方总计将斥资人民币11亿元。
公告显示，京东方A称，交易完成后，京东方将成为南京G8.5公司和成都G8.6公司的实际控制人，日常运营均由公司负责，京东方为本次收购项目提供相关不超过亿元的担保。
关于此次收购的影响，京东方方面表示，收购南京G8.5和成都G8.6生产线部分股权，符合京东方成为半导体显示领域全球领导者的发展目标，能够充分发挥公司市场、技术、运营等全方位能力和经验优势，化行业低谷为发展机遇，完善公司技术储备，提升生产制造能力，丰富产品组合，强化客户合作，拓展高端产品市场，继续巩固行业领先地位。
第一财经报导，据公告，成都8.6代线可经济切割50、58、70英寸等差异化尺寸产品，有效完善京东方的产品和产线体系；并能够与京东方成都、重庆、绵阳等现有产线高效联动，进一步强化集聚发展。
京东方表示，收购南京8.5代线和成都8.6代线部分股权，符合京东方成为半导体显示领域全球领导者的发展目标，能够充分发挥公司市场、技术、营运等全方位能力和经验，化行业低谷为发展机遇，完善公司技术储备，提升生产制造能力，丰富产品组合，强化客户合作，拓展高端市场。
奥维睿沃研究副总监卞铮分析，京东方成功收购中电熊猫南京和成都两条液晶产线，意味在今年这一波产业重组中，京东方还是与TCL华星光电平分秋色，达到齐头并进的效果。京东方拿下中电熊猫一条8.5代线和一条8.6代线，TCL华星光电拿下三星苏州的8.5代线。
群智咨询总经理李亚琴指出，京东方（BOE）对中电熊猫的收购案，是大陆国内LCD（液晶）面板产业史上规模最大的一个并购案。之前只有中航技（深天马的母公司）年并购上广电5代线，以及TCL科技并购三星显示器苏州8.5代线的案例。
她认为，京东方收购中电熊猫的南京8.5代线和成都8.6代线，此事对产业影响深远，将牵动上游材料和下游品牌的供应链重整。
不过李亚琴也表示，随着产能更加庞大，整合后在管理方面能不能有效提高效率、达到1+1的效果，将考验京东方的管理能力。其次，产能越大，稳定外销越重要。面对复杂多变的市场需求，京东方如何稳定外销至关重要，需在稳健经营和灵活高效之间寻找平衡。
南京G8.5公司截至今年6月30日评估基准日的全部权益的评估价值为68.06亿元，80.%股权的对应评估值为55.01亿元，其于9月7日公开挂牌转让的对应部分股权挂牌价约55.91亿元。由于南京G8.5公司股权将通过摘牌竞价交易，存在竞购溢价可能性。
而成都G8.6公司全部权益评估价值为17.95亿元，51%股权对应评估值约为65.6亿元。京东方A表示，由于成都G8.6产线年量产，生产设备较新，工艺稳定，能够对应8K超高清、高刷新率等高端产品，盈利能力较强且提升潜力较大，故拟溢价收购其51%股权。
京东方A对标的公司的志在必得，是基于对其所在赛道的看好以及对标的公司价值的认可。京东方A表示，南京G8.5和成都G8.6产线技术成熟，配置齐全，工艺稳定，具有发展潜力，具备一定收购价值。收购南京G8.5和成都G8.6生产线部分股权，符合京东方A成为半导体显示领域全球领导者的发展目标，能够充分发挥公司市场、技术、运营等全方位能力和经验优势，化行业低谷为发展机遇，完善公司技术储备，提升生产制造能力，丰富产品组合，强化客户合作，拓展高端产品市场，继续巩固行业领先地位。
据披露，南京G8.5公司成立于01年11月1日，为中外合资，注册资本亿元，总投资91.5亿元，生产线于年8月开始量产，主要产品包括手机、笔记本电脑、显示器、电视显示屏等。成都G8.6公司成立于年1月7日，注册资本亿元，总投资80亿元，生产线于年5月开始量产，主要产品是3.8-70寸TV显示屏。
公告显示，南京G8.5公司截至年底和00年6月底的净资产分别为69.17亿元和59.亿元，同期净利润分别为亏损95亿元与9.97亿元。成都G8.6公司截至年底和00年6月底的净资产分别为.6亿元和.69亿元，同期净利润分别为亏损9.65亿元与1.9亿元。
行业看，过去两年来，由于LCD面板产能扩充速度加快，产业竞争趋于激烈，加速了行业洗牌。韩国面板厂陆续关停LCD产线，使得行业集中度得到提升。群智咨询的数据显示，00年上半年中国大陆面板厂商在全球电视面板市场份额达到55.5%，较去年同期提高了9个百分点。
随着此次收购案落地，市场份额又进一步向头部厂商聚集。预计京东方收购中电熊猫的8.5和8.6代LCD产线后，加上自身产能扩充，到0年其在全球大尺寸LCD面板的市场份额将达到8.9%。与此同时，中小面板厂的份额也将进一步被挤压，预计到0年全球Top6面板厂的份额将接近85%。
受上述因素影响，全球LCD面板竞争格局也将重塑。中电熊猫的条LCD产线分别是位于南京8.5代线和位于成都的8.6代线。其中，8.5代线生产TV、IT和手机类产品、8.6代线生产大尺寸TV产品。收购案落地后，群智咨询预测对TV和IT面板市场的竞争格局将产生重大影响。
IT面板领域，京东方目前是显示器IPS硬屏最大的供应商，但过去其在消费电竞显示器市场表现较低迷，中电熊猫的氧化物（Oxide）液晶面板产能如被有效利用，与其自身技术结合，将可进一步夯实京东方在电竞显示器屏幕的竞争力，提高供应能力，为其在电竞细分市场增长打好基础。
京东方在NB（笔记本电脑）市场的差异化能力将提升。京东方在全球笔记本面板市场出货量居第一位，市场份额为8%。中电熊猫基于IPS+Oxide的笔记本电脑产品线，在游戏本上的面板具备较强的性价比，京东方在收购后将在该细分市场提升差异化竞争力。
TV（电视）面板领域，京东方目前已是全球TV面板最大供应商，此次收购后，中电熊猫的AV技术可与京东方的IPS技术形成互补效应，对其产品布局和客户黏性提升均有助益。同时，中电熊猫拥有VA和IGZO众多专利，也可强化京东方在这方面的专利布局，进一步反哺IT和TV面板业务。
当然，此次收购也有风险。李亚琴认为，随着产能更加庞大，整合后在管理方面能不能有效提高效率、达到1+1的效果，将考验京东方的管理能力。其次，产能越大，稳定出海口越重要。面对复杂多变的市场需求，京东方如何稳定出海口至关重要，需在稳健经营和灵活高效之间寻找平衡。
京东方9月3日股价上涨0.99%至5.1元/股，而错过本次收购的TCL华星光电的母公司TCL科技（.SZ）当天股价下跌0.78%至6.38元/股。
总投资亿元！长沙三安第三代半导体项目厂区“心脏”封顶10月7日消息，据长沙晚报报道，总投资亿元的长沙三安第三代半导体项目国庆长假期间未停工，其中为主厂房提供动力的主要辅助建筑——C综合动力站日前已率先完成封顶。同时，项目最大单体建筑MB碳化硅芯片生产厂房全面进入主体施工收尾阶段。
施工现场，项目工地内多个建筑主体已初现雏形，工人们正穿着雨衣进行施工作业，或搭设脚手架，或绑钢筋、支模板，现场“抓进度保质量确保三安明年6月试产”的标语格外显眼，工人叮叮当当的敲打声、机械设备作业的轰鸣声回荡在工地上。中建五局三公司三安项目负责人周祥介绍，C综合动力站建筑面积约1万平方米，是厂区的“心脏”，主要包括热水系统、冷却水系统、压缩空气系统、发电系统等。“除了动力站封顶，项目最大单体建筑MB碳化硅芯片生产厂房全面进入主体施工收尾阶段。”周祥说，凭借过硬的专业技术，项目部近日顺利完成了MB碳化硅芯片生产厂房华夫板浇筑，这也是厂房最难的施工部分。据悉，MB碳化硅芯片厂房是该项目一标段30个单体中建筑面积最大、洁净等级要求最高的厂房。
今年6月16日晚间，三安光电发布公告称，计划以现金投资亿元，在湖南省长沙高新技术产业开发区管理委员会园区成立子公司投资建设第三代半导体产业园项目。
据公告介绍，该项目包括但不限于碳化硅等化合物第三代半导体的研发及产业化项目，包括长晶—衬底制作—外延生长—芯片制备—封装产业链，投资总额亿元。
6月15日，三安光电已与长沙高新技术产业开发区管理委员会签署《项目投资建设合同》。根据计划，三安光电将在用地各项手续和相关条件齐备后4个月内完成一期项目建设并实现投产，48个月内完成二期项目建设和固定资产投资并实现投产，7个月内实现达产。
对于具体开发建设的产品，三安光电方面表示，主要研发、生产及销售6吋SIC导电衬底、4吋半绝缘衬底、SIC二极管外延、SiCMOSFET外延、SIC二极管外延芯片、SiCMOSFET芯片、碳化硅器件封装二极管、碳化硅器件封装MOSFET等。对于此次投资，三安光电方面认为：“第三代半导体产业园项目有着广阔的市场需求，现处于发展阶段。本次投资项目符合国家产业政策规划，符合公司产业发展方向和发展战略，有利于提升公司行业地位及核心竞争力。”
7月0日，长沙三安第三代半导体项目正式开工。据长沙高新技术产业开发区管理委员介绍称，长沙三安第三代半导体项目，总占地面积0亩，主要建设具有自主知识产权的衬底（碳化硅）、外延、芯片及封装产业生产基地。项目建成达产后将形成超百亿元的产业规模，并带动上下游配套产业产值预计逾千亿元。
当前，第三代半导体材料及器件已成为全球半导体材料产业的前沿和制高点之一。以碳化硅、氮化镓为代表的第三代半导体成熟商用材料，在新能源汽车、5G、智能电网、高速轨道交通、半导体照明、消费类电子、航天等领域具有重要的应用价值。
资料显示，三安光电早在年就已经通过投资三安集成发展砷化镓，成为大陆第一家研发与生产化合物半导体的厂商。年底，三安光电更斥资人民币亿元，在福建泉州南安高新技术产业园区投资第三代化合物半导体材料。包含高端氮化镓LED衬底、外延、芯片的研发与制造产业化项目；高端砷化镓LED外延、芯片的研发与制造产业化项目等。年4月6日，三安光电发布公告称，拟投资10亿元在湖北省葛店经济技术开发区兴办Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体项目，主要生产经营Mini／MicroLED外延与芯片产品及相关应用的研发、生产、销售。年11月，三安光电宣布募资投入总投资金额.05亿元的半导体研发与产业化项目（一期），该项目也涉及氮化镓芯片的研发、生产。目前，三安光电已经成为了国内第三代半导体的龙头企业。
台积电被施压：15%-30%业务搬离中国大陆
据外媒报道，多家苹果供应商曝出，苹果持续对其施压，要求它们将15%至30%的生产业务搬出中国大陆！被施压的供应商包括台积电、富士康、纬创以及和硕等，主要的转移地点是越南、泰国、印度等东南亚国家。
华为机器人凝视追踪技术，让机器更像人华为发明的机器人凝视追踪技术，通过显示模块来模拟真实的机器人面部输出，结合多种偏转角度测量方法，实现了平滑的凝视追踪效果，提高了机器人的拟人化程度。
在现代社会的家庭中，越来越多的父母不能时刻陪伴孩子，而此时可以使用智能机器人进行陪伴以及教育孩子。这种智能机器人可以与孩子进行交流，并且可以基于不同的对话内容学习、更新与孩子的交流方式，可以说非常的人性化。
拟人特性作为衡量机器人智能化的重要指标之一，在人机交互的过程中，目标跟随以及凝视跟踪行为的准确性则直接反映机器人的拟人化程度，技术人员往往通过提高机器人的拟人化程度来提高用户的使用体验。
而所谓的凝视追踪技术，就是在机器人和用户进行对话时捕捉用户的眼睛位置并进行凝视，因为人们在谈话时往往看着对方的眼睛，如果机器人也可以采用这样的技术，将会极大的提高其拟人化程度，并且带给用户极佳的交流体验。
为了实现这个目的，华为在5月8日申请了一项名为“一种机器人的控制方法、装置、机器人以及存储介质”的发明专利（申请号：.0），申请人为华为技术有限公司。
根据该专利目前公开的资料，让我们一起来看看华为的这项凝视追踪技术吧。
如上图，为该专利中发明的机器人示意图，其中包括具有模拟人形形态的a型机器人、模拟动物形态的b型机器人以及非生物形态的c型机器人，这些机器人虽然形状各异，但是均具有运动功能，可以进行移动以及旋转等运动操作，其具体控制方法的实现如下图所示。
可以看到，控制机器人运动的过程分为三步，首先需要获取目标对象的位置信息，其次根据这个位置信息来控制机器人转动。这个相对位置可以通过自动识别或者手动设置来确定，它是机器人与目标对象之间的相对位置，例如正前方、右侧等，也可以是具体多少角度的偏转，例如+60度或者-10度等。
有了相对位置信息后，机器人会根据自身的初始角度以及目标对象的位姿确定目标偏转角度，例如人形机器人可以以其面部为正面。为了实现凝视追踪的目的，可以将目标偏转角度设置为机器人看向的方向，这样就可以使得机器人的视线对准目标对象，从而完成凝视追踪。
并且值得一提的是，该专利采用显示模块的输出画面来完成凝视，这相比于马达驱动的硬件凝视具有更高的响应度，利用这种模拟的凝视界面，可以很好的实现平滑凝视追踪效果。
具体的应用案例如上图所示，这是专利中提供的目标偏转角度的获取示意图，左侧为机器人，右侧为真人，对于凝视追踪而言，最重要的就是将机器人的视线与目标对象的视线进行交汇，即处于同一平面内，因此机器人需要确定自身当前的视线方向以及目标对象的视线方法，并且可以基于两个视线方向确定偏转角度。
该专利提供了三种技术用于确定这个偏转角度：基于距离传感器、基于拍摄图像以及基于语音信号的方式。基于距离传感器的方法就是通过距离探测单元采集的距离值构建机器人所处场景下的深度图，基于深度图来确定当前场景包含的对象，并根据目标的轮廓线来确定目标对象。
基于拍摄图像的方法是通过轮廓识别算法提取该场景图像内包括的轮廓信息，并基于轮廓信息对场景图像进行划分，通过主体类型识别来确定目标对象。而基于语音信号的方法则是基于语音分析结果来确定是否有激活口令，通过口令来确定目标对象。
这三种方式都可以用于完成凝视追踪，并且可以利用多种方法进行组合的方式来提高凝视追踪的准确率。此外，基于拍摄图像的方法还需要对摄像模块上采集的图像进行校准，从而在后续的凝视追踪时，可以使得机器人的眼部视线偏移到目标对象的中心位置。
以上就是华为发明的机器人凝视追踪方法，通过确定机器人与目标之间的偏转角度，并不断调整显示模块的输出内容以及旋转部件来实现凝视追踪。此外，该技术基于三种确定偏转角度的方法，无需借助马达来驱动硬件，响应时间较短，不仅实现了平滑凝视追踪行为，也提高了机器人的拟人化程度。
IMEC：nm芯片可以用这种材料在00年国际互连技术大会上，imec首次展示了采用钌金属(Ru)，具备电气功能的双金属层级结构（-metal-level）互连技术。该金属是使用特殊的半镶嵌和气沟(AirGap)技术生产，具有更好的使用寿命和更佳的物理强度（mechanicalstrength）。
透过一个1层金属分析，证实了这个半镶嵌技术可带来系统级的优势，包含降低阻容（resistance-capacitance，RC）、功耗和IR-Drop。此外，钌金属也展现了绝佳的潜力，可望作为先进制程的中段（MOL）接触插塞（contactplugs）的替代方案。目前，替代性的金属化材料（例如钌）和替代性的金属化制程（例如半镶嵌），正被密集的研究中，以前进纳米或者以下制程技术的前段（BEOL）和中段（MOL）互联。在前段设计中，imec提出了一种半镶嵌（semi-damascene）整合技术，作为传统的双重镶嵌（dual-damascene）的替代方案。为了能够完全的发挥这种结构技术的潜力，需要有除了铜（Cu）或钴（Co）以外的其他金属，它们可以被沉积而无扩散阻挡层，且具有高的体电阻率，并可以被图模式的使用，例如：减成蚀刻。这个结构也可以增加互连的高度，并结合气隙作为电介质，将有望减少阻容（RC）延迟，这是后段制程的主要瓶颈。Imec首次使用「钌」进行金属化，并在mm晶圆上制造并特性化了双金属层的半镶嵌模组。在30纳米金属间距线的测试结构显示，有超过80％以上的可重复性（无短路迹象），且使用寿命超过10年。同时钌的气隙结构的物理稳定性可与传统的铜双重镶嵌结构相比。Imec纳米互连专案总监ZsoltTokei表示，结果显示，半镶嵌与气隙技术相结合不仅在频率和面积上优于双镶嵌，而且为进一步的性能强化提供了可扩展的途径。气隙技术则显示出将性能提高10％，同时将功耗降低5％以上的潜力。使用高深横比的电线，可将电源线路中的IR下降减少10％，进而提高可靠度。在不久的将来，为半镶嵌模组开发的光罩组（Maskset）将能够进一步改善半镶嵌的整合，并通过实验验证去达成预期的性能改进。Imec还展示了在先进MOL接触插塞中，使用「钌」替代钴或钨的优势。imecCMOS元件技术总监NaotoHoriguchi指出，无阻绝层的钌，有潜力进一步减小因缩小接触面积而产生的接触电阻。在一项评测研究中，imec评估了钌和钴，结果表明钌是替代MOL狭窄沟槽中的钴，最有希望的候选方案。在0.3纳米氮化钛(TiN)内衬（无阻挡层）的孔洞，填充钌的电阻的性能，优于在相当的制程中填充钴（有1.5纳米氮化钛阻挡层）。研究还证明，钌作为源极和汲极接触材料，在p-硅锗(SiGe)和n-硅(Si)上的接触电阻率都较低，约为10-9Ωcm-。来源中国科技新闻网
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